電子級(jí)羥基乙叉二膦酸（HEDP）

一、性能與用途

電子級(jí)HEDP為電子級(jí)高純產(chǎn)品，具有很強(qiáng)的金屬離子螯合能力，在半導(dǎo)體加工的研磨、拋光、蝕刻等工藝，可以提高研磨效率和光潔度，在顯示面板、PCB板蝕刻加工過(guò)程中使用可以減少毛刺，提高銅箔表面光潔度。

二、技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng) 目	指標(biāo)
外觀	無(wú)色透明液體
活性（以HEDP計(jì)）/%	≥60.0
單金屬離子/ppb	<10ppb（可根據(jù)客戶需求定制）

三、包裝與貯存

電子級(jí)HEDP液體用電子級(jí)塑料桶包裝，每桶25kg或200kg，可根據(jù)客戶需求定制。貯存于室內(nèi)陰涼通風(fēng)處，貯存期十二個(gè)月。

四、安全與防護(hù)

電子級(jí)HEDP為酸性，操作時(shí)注意勞動(dòng)防護(hù)，應(yīng)避免與皮膚、眼睛等接觸，接觸后應(yīng)立即用大量清水沖洗。

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